山东真空镀膜设备厂

【溅射镀膜定义】： 定义：所谓溅射，就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下，形成气体等离子体（辉光放电），其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击，阳离子和靶材进行能量交换，使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出（其中逸出的还可能包含靶材离子）。这一整个的动力学过程，就叫做溅射。入射离子轰击靶面时，将其部分能量传输给表层晶格原子，引起靶材中原子的运动。有的原子获得能量后从晶格处移位，并克服了表面势垒直接发生溅射；有的不能脱离晶格的束缚，只能在原位做振动并波及周围原子，结果使靶的温度升高；而有的原子获得足够大的能量后产生一次反冲，将其临近的原子碰撞移位，反冲继续下去产生高次反冲，这一过程称为级联碰撞。级联碰撞的结果是部分原子达到表面，克服势垒逸出，这就形成了级联溅射，这就是溅射机理。当级联碰撞范围内反冲原子密度不高时，动态反冲原子彼此间的碰撞可以忽略，这就是线性级联碰撞。真空镀膜设备故障维修技巧有哪些？山东真空镀膜设备厂

【真空镀膜溅射种类】： 1、反应溅射：氧化物，氮化物作为沉积物质 现象：①：靶材分子分裂，其于工艺气体离子发生反应，形成化合物 ②：膜层性能改变 ③：靶材有可能中毒 2、二极溅射：二极溅射是一种经典的标准溅射技术，其中等离子体和电子均只沿着电场方向运动。 特征：①：无磁场 ②：溅射率低 ③：放电电压高（＞500V） ④：镀膜底物受热温度极易升高（＞500°C） 用途：主要用于金属靶材、绝缘靶材、磁性靶材等的溅射镀。 3、磁控溅射：暗区无等离子体产生，在磁控溅射下，电子呈螺旋形运动，不会直接冲向阳极。而是在电场力和磁场力的综合作用在腔室内做螺旋运动。同时获的能量而和工艺气体以及溅射出的靶材原子进行能量交换，使气体及靶材原子离子化，dada提高气体等离子体密度，从而提高了溅射速率（可提高10—20倍）和溅射均匀性。四川瑞康真空镀膜设备真空镀膜设备认准成都国泰真空设备有限公司。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜内白雾】： 白雾形成在膜内，无法用擦拭方法去除。 可能成因： 1. 基片脏 2. 镜片表面腐蚀污染 3. 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配 4. 氧化物充氧不够 5. 第yi层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象 6. 基片进罩前（洗净后）受潮气污染 7. 洗净或擦拭不良，洗净痕迹，擦拭痕迹 8. 真空室脏、水汽过重 9. 环境湿度大 改善对策：基片本身的问题可能时主要的镀膜室尽量弥补，镀膜本身Zui大的可能室膜料匹配问题。 1. 改进膜系，第yi层不用氧化锆 2. 尽量减少真空室开门时间 3. 真空室在更换护板、清洁后，Zui好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净 4. 改善环境 5. 妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染 6. 改善洗净、擦拭效果 7. 改善膜匹配（考虑第yi层用Al2O3） 8. 改善膜充氧和蒸发速率（降低） 9. 加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。 10. 抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。

【真空镀膜电子束蒸发法】： 电子束蒸发法是将蒸发材料放入水冷铜坩锅中，直接利用电子束加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面形成膜，是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点，特别适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。 【真空镀膜激光蒸发法】： 采用激光束蒸发源的蒸镀技术是一种理想的薄膜制备方法。这是由于激光器是可以安装在真空室之外，这样不但简化了真空室内部的空间布置，减少了加热源的放气，而且还可完全避免了蒸发气对被镀材料的污染，达到了膜层纯洁的目的。此外，激光加热可以达到极高的温度，利用激光束加热能够对某些合金或化合物进行快速蒸发。这对于保证膜的成分，防止膜的分馏或分解也是极其有用的。激光蒸发镀的缺点是制作大功率连续式激光器的成本较高，所以它的应用范围有一定的限制，导致其在工业中的guang泛应用有一定的限制。广东真空镀膜机厂家。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜强度】：膜强度时镜片镀膜的一项重要指标，也是镀膜工序Zui常见的不良项。膜强度的不良（膜弱）主要表现为：1.擦拭专yong胶带拉撕，产生成片脱落2.擦拭专yong胶带拉撕，产生点状脱落3.水煮15分钟后用专yong胶带拉撕产生点状或片状脱落4.用专yong橡皮头、1Kg力摩擦40次，有道子产生5.膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子改善思路：基片与膜层的结合是首要考虑的，其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力。电子束蒸发真空镀膜设备是什么？山西蒸发真空镀膜设备

真空镀膜设备的工作原理和构成。山东真空镀膜设备厂

【真空镀膜设备之低温泵】： 低温泵：低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。主要用于高真空或超高真空，属于干泵，工作方式为气体捕集。极限真空&6~&9Torr。 用低温介质将抽气面冷却到20K 以下，抽气面就能大量冷凝沸点温度比该抽气面温度高的气体，产生很大的抽气作用。这种用低温表面将气体冷凝而达到抽气目的的泵叫做低温泵，或称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率Zui大、极限压力Zui低的清洁真空，guang泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。 山东真空镀膜设备厂